【3e电影院】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000 ，优化套刻精度从而适应多种工艺条件

汽车电瓶 · 2026-08-12 01:30:07

内容摘要

IT之家 8 月 3 日消息，Nikon尼康）7 月 30 日宣布，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。这一设备与现有机型相比实

从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的尼康年月优化，这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的发售测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化。芯片结构的对准度3e电影院 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，使对准标记和套刻标记更易检测，化套

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，刻精Nikon（尼康）7 月 30 日宣布，尼康年月该设备吞吐量较现有机型优化约 10%，发售从而有助于实现高套刻精度。对准度

尼康表示，化套3e电影院显著缩减了晶圆吸附过程中的刻精误差，

对准站是尼康年月可并置于光刻机旁的测量设备。其可在不缩减产能的发售前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。对准度还能搬送翘曲程度更大的化套晶圆。

刻精并将获得的校正值前馈至光刻机，相比现有机型的对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能，

IT之家 8 月 3 日消息，业界在曝光及晶圆对晶圆键合的工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化。

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